艾默生(北京)仪表有限公司 刘朝晖

一、问题:

　　1151洁净室现有氦检漏工作台2台（3051T高压氦检漏工作台1台，1151氦检漏工作台1台），当3051T高压氦检漏工作台工作时，1151氦检漏工作台抽气速度变得非常慢，检测一个工件需几分钟（正常应在1分钟内），甚至完全不能工作。

二、问题调查及分析：

　　这两台氦检漏工作台都配备有阿尔卡特ASM182T氦检漏仪，但它们所检测产品漏率要求不同，1151氦检漏工作台漏率设置点在5.00E^-8mbar.l/s，而3051T高压氦检漏工作台漏率设置点在5.00E^-6mbar.l/s。

　　通过观察设备工作情况，发现当3051T高压氦检漏仪工作10分钟后，1151氦检漏仪工作非常困难。原因是3051T高压氦检漏仪工作氦压力在4000PSI以上，虽然有氦气回收装置，但是由于氦压力非常高，泄漏的氦气量还是很可观的，并且洁净室是一个相对封闭的空间，氦气较轻，聚集在厂房的上方，厂房采用上送风方式，氦气不能较快的随循环风系统排出。

　　通过多次反复试验，总结出以下数据：

说明：以上数据是在装上工件检测50秒左右(特别注明除外)读取得数据，双侧检漏漏率加倍。

三、结论：

　　通过以上数据分析可有以下结果：

1.　检漏仪VENT口通氮气能够降低检漏仪的本底一个数量级，因此提高检漏仪的工作速度，通常减少等待时间20秒左右。

2.　工件在氮气中浸泡后检测或同一SENSOR多次检测能减少等待时间10秒左右。

3.　检漏仪工装软管漏率较大，单侧能提高漏率1个数量级，双侧同时检漏时，漏率是单侧的2倍。

4.　3051T高压氦检漏工作台工作时，如果不采取措施，1151检漏工作台将不能正常工作；采取以上2项措施后，单侧勉强能够检漏，但等待时间较长，一般在1分钟左右，甚至更长。而操作人员一般觉得30秒以内才可以接受。

5.　通过反复测试，当3051T高压氦检漏工作台停止工作2个小时左右，洁净室内氦气污染明显减轻。1151氦检漏工作台单侧检漏等待时间30秒，双侧检漏60秒左右，可正常工作。

四、建议：

　　要解决1151还检漏仪氦中毒现象，建议如下：

1.　将两台设备分开配置，将3051T高压氦检漏仪安装在没有其它检漏仪的车间，并且该车间空间不要太小，否则会导致自身中毒。

2.　对3051T高压氦检漏仪进行改造，减少氦泄漏量。

3.　在以上两条实施之前，临时措施是: 1151与3051T生产线协调检漏时间，错时3小时左右生产。