一台国外引进微光管制备真空设备超高真空获得的技术改进-中华真空设备网

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一台国外引进微光管制备真空设备超高真空获得的技术改进

来源：中华真空设备网 | 日期： 2008-8-7

【摘要】	介绍了国外引进微光管超高真空设备的系统结构、组成、设备功能及关键技术指标,得出了超高真空获得技术改进取得的结果,并对设备在国内的应用前景作了全面分析。