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薄膜式执行机构主要技术参数
来源：中华真空设备网  |  日期： 2009-11-24
型 号
ZMA-2
ZMA-3
ZMA-4
ZMA-5
有效面积 cm2
280
400
630
1000
行 程 mm
16
25
40
60
弹簧范围 KPa
20～100 ； 40～200 ； 20～60 ； 60～100
 
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