本节主要介绍运动以外的物理量,比如光,电磁波,电力等,从大气中导入真空或从真空中导入大气的方法。因为要通过大气和真空之间的窗口,因此需要在窗口安装相应的部品,我们称之为导入器。根据作用不同,又可分为光导入器,电力导入器等。
１.光导入器
能使光通过且能封闭真空的材料被称为光导入器。考虑到大气压和真空一侧的差压,1kg/cm2的压力会产生在光导入器上,如果使用普通玻璃,当面积较大时,可能会发生玻璃破损的事故。现在用于超高真空设备的光导入器所用的材料有硬质玻璃,蓝宝石,石英等。
这些材料对于光的透过率如图1所示。特别是要保证紫外线的透过,而且要检测真空内发出的光的情况下,主要应用蓝宝石窗。
２.电力导入器
从大气压环境中向真空腔体内导入电力或微小信号所用的导入器,也被称为导入端子。绝缘部分用Al2O3,导体部分用铜的导入端子被广泛使用。大电流导入时可达400A,微小信号时可用BNC同轴端子,多针形端子可含有48个接头。
导入端子的弱点在于机械强度较弱。下图是超高真空用的代表性导入端子。
多节点电流导入端子。大电流导入端子,高频电流导入端子。 |
