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真空区域的划分-中华真空网
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真空区域的划分
来源:
| 日期:2006-8-11
真空区域的划分,根据我国GB3163-82的规定:
低真空 105~102Pa 高真空 10-1~10-5Pa
中真空 102~10-1Pa 超高真空 <10-5Pa
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