检测	激发
	光子（hv）	电子（e）	离子（I）
光子（hv）	X射线光谱 荧光光谱 其他光谱	电子微探针 （EPMA或XMA）	离子引发X射线光谱（IIR）
电子（e）	光电子能谱 （ESCA或XPS，UPS） 俄歇电子能谱 （AES）	俄歇电子能谱 （AES） 低能衍射（LEED） 高能衍射（RHEED） 能量损失谱（ELS） 扫描俄歇显微镜 （SAM）	离子中和谱 （INS）
离子（I）	�	电子探针表面质谱 （EPSMS）	二次离子质谱 （SIMS） 离子散射谱 （ISS）