真空设备要求达到并保持真空状态,如果存在漏气问题则成为重大的缺陷。同时,任何真空设备都没有绝对的密闭性,都有某种程度的漏气问题存在。

 　　气体透过固体的现象被成为透气,特别是用橡胶材料封口时透过的氢气和氦气不可忽视。但是透气和漏气本质不同。漏气被定义为机械地从缝隙或小孔由高气压一侧向低气压一侧侵入的现象。

 

　　2.漏气的原因 

 　　漏气的主要原因是材料本身的缺陷,另一种是封口部不良。还有一种情况是常温下不发生漏气,可是温度变化时会发生漏气。这种情况发生的主要原因是热膨胀系数的差而引起的。 

   　 3.可容许的漏气范围 

 　　严格地讲,任何设备都有漏气现象存在,问题在于漏气量对真空设备及使用目的是否有影响。漏气发生的影响在于可能影响到达的压力或实验生产的纯度等。如果不能造成这种不良影响,则在某种范围内可以容许有一定的漏气。一般而言,如下表所示的漏气量可以容许。

   　 容许漏气量=设备最低压力 × 排气速度× 1/(10-100)